EDX Analyse
Wir bieten EDX Analyse (Energiedispersive Röntgenspektroskopie) am Rasterelektronenmikroskop (REM) als Dienstleistung an. Mit der EDX-Analyse wird die chemische Elementzusammensetzung des Werkstoffes für Materialanalysen ortsaufgelöst durchgeführt. Mit der Energiedispersiven Röntgenspektroskopie können auch Schichtdickenmessungen von sehr dünnen Schichten im Submikrometerbereich vorgenommen werden.
Als Steinbeis-Transferzentrum an der Hochschule in Karlsruhe sind wir spezialisiert auf Analysen von Oberflächen und Materialien. Mit der EDX-Analyse werden beispielsweise Verunreinigungen, Partikel oder unbekannte Werkstoffe analysiert. Ebenso findet diese Anwendung bei Verschleißanalysen Anwendung, um Materialübertrag oder Fremdmaterial zu untersuchen.
Leistungsübersicht EDX Analyse
- Materialanalyse
- Verschleißanalyse
- Schichtdickenmessung
Energiedispersive Röntgenspektroskopie
Die Energiedispersive Röntgenspektroskopie (REM EDX Analyse) ist ein Verfahren der Röntgenmikroanalyse. Damit werden chemischen Elemente des Materials ortsaufgelöst qualitativ und quantitativ bestimmt. Dazu wird die Wechselwirkung der Primärelektronen des Elektronenstrahls und der Probenoberfläche zur Anregung einer Röntgenstrahlung ausgenutzt. Die Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX) am Rasterelektronenmikroskop (REM) beruht darauf, dass jedes chemische Element eine charakteristische Röntgenstrahlung aussendet, wenn es angeregt wird. Bei der EDX Analyse wird mit einem Detektor die Energie der Röntgenstrahlung bestimmt und darüber die vorhandenen chemischen Elemente des Materials ermittelt. Man unterscheidet bei der energiedispersiven Röntgenspektroskopie Punktanalysen, Linienanalysen und Flächenanalysen. Mit den Flächenanalysen (Elementmapping) wird die Verteilung der chemischen Elemente über eine Fläche ermittelt und, wie im nachstehenden Bild zu sehen, farblich dargestellt.
EDX Elementanalyse
EDX Flächenenanalyse
Gerne erstellen wir Ihnen ein Angebot für EDX-Analysen.
Rasterelektronenmikroskopie – Verfahren
Bei einem Rasterelektronenmikroskop (REM) wird die Oberfläche durch Elektronen abgebildet. Dazu wird ein Primärelektronenstrahl mit Hilfe einer Elektronenkathode zur Beschleunigung zur Anode hin erzeugt. Anschließend wird dieser Elektronenstrahl durch elektromagnetische Linsen auf die Oberfläche des zu untersuchenden Objektes fokussiert. Der fein gebündelte Elektronenstrahl wird zeilenförmig über das darzustellende Objekt geführt und die hierbei stattfindende Wechselwirkung der Elektronen mit der Oberfläche zur Erzeugung eines Objektbildes genutzt. Bei der REM Analyse löst der auf die Probe treffende Primärelektronenstrahl in der Oberfläche eine Vielzahl von Reaktionen aus. Neben den Sekundärelektronen (SE) entstehen durch elastische Wechselwirkungen reflektierte Elektronen (BSE).