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Startseite1 EDX Analyse

EDX Analyse
(Energiedispersive Röntgenspektroskopie)

Die EDX-Analyse (energiedispersive Röntgenspektroskopie) am Rasterelektronenmikroskop (REM) ist eine  Technik zur Bestimmung der chemischen Elemente von Werkstoffen, die in der Materialanalyse eingesetzt wird. Die EDX-Analyse ist eine Methode zur ortsaufgelösten Bestimmung chemischer Elemente und ihrer Konzentrationen. Diese Methode wird z. B. zur Bestimmung von Werkstoffen sowie zur Analyse von Rückständen bzw. Ablagerungen, Korrosionserscheinungen und zur Schadensanalyse im Allgemeinen eingesetzt.

Als Steinbeis-Transferzentrum führen wir Materialanalysen mittels energiedispersiver Röntgenspektroskopie (EDX) als Dienstleistung durch.

Wozu dient die EDX Analyse?

  1. Elementanalyse: Die EDX-Analyse ermöglicht die Identifizierung und Bestimmung der in einer Probe enthaltenen chemischen Elemente durch Messung der charakteristischen Röntgenstrahlung, die von den Atomen der Probe bei Anregung durch einen Elektronenstrahl emittiert wird.
  2. Materialanalyse: Die energiedispersive Röntgenspektroskopie hilft bei der Bestimmung der chemischen Zusammensetzung von Materialien, was für die Materialanalyse und Werkstoffbestimmung eingesetzt wird.
  3. Verunreinigungen: Mit Hilfe der energiedispersiven Röntgenspektroskopie können Verunreinigungen oder unerwünschte Elemente in Materialien nachgewiesen werden, was für die Qualitätskontrolle und Materialprüfung wichtig ist.
  4. Schadensanalyse: Bei der Untersuchung von Materialfehlern oder -schäden kann EDX helfen, chemische Veränderungen oder das Vorhandensein von Fremdpartikeln festzustellen, die möglicherweise zum Versagen eines Bauteils geführt haben.

Dienstleistungen

  • Materialanalyse
  • Analyse Ablagerungen
  • Oberflächenanalyse
  • Beschichtungsanalyse
  • Schadensanalyse
  • Verschleißanalyse
  • Korrosionsschäden
  • Partikelanalyse
  • Analyse von Pulver
  • Qualitätskontrolle
  • Schichtdickenmessung

Gerne erstellen wir Ihnen ein Angebot für EDX-Analyse.

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Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX)

Mit der energiedispersiven Röntgenspektroskopie (EDX) können die chemischen Elemente, deren Konzentration und Verteilung bestimmt werden. Diese Analysemethode wird in einem breiten Spektrum von Anwendungen eingesetzt. Die EDX Analyse gehört zur Röntgenmikroanalyse und beruht darauf, dass jedes chemische Element eine charakteristische Röntgenstrahlung aussendet, wenn es angeregt wird. Die Anregung erfolgt durch den Primärelektronenstrahl des Rasterelektronenmikroskops. Dabei kommt es durch die Elektronen in der Atomhülle zur Aussendung einer Röntgenstrahlung, deren Spektrum für jedes Element charakteristisch ist. Man unterscheidet Spotanalysen (punktuell), Linienanalysen (line scans) und Flächenanalysen (Elementmapping). Mit einem Mapping wird die Verteilung der chemischen Elemente über eine Fläche ermittelt, wodurch lokale Unterschiede bestimmt werden.

Was sind die Vorteile der EDX-Analyse?

1. Ortsaufgelöste Elementanalyse
Mit der EDX-Analyse kann die Bestimmung der chemischen Elemente ortsaufgelöst erfolgen und somit deren Verteilung bestimmt werden.

2. Breites Anwendungsspektrum
Die Technik ist äußerst vielseitig und kann auf eine Vielzahl von Materialien angewendet werden, von Metallen über Polymere bis hin zu mineralischen Proben.

3. Quantitative Analyse
Die EDX-Analyse liefert nicht nur qualitative Informationen, sondern auch quantitative Daten zur Bestimmung der Konzentration der Elemente.

Schichtdickenmessung

Mit dem Rasterelektronenmikroskop (REM) und dem Röntgenstrahldetektor (EDX) sind auch präzise Schichtdickenmessungen von dünnen Beschichtungen möglich. Bei der energiedispersiven Röntgenspektroskopie (EDX) wird die Beschichtung über die Tiefe mit verschiedenen Beschleunigungsspannungen “abgerastert” und damit Stärken von Beschichtungen im Bereich von 5 – 200 nm bestimmt.

Rasterelektronenmikroskopie (REM)

Bei der Rasterelektronenmikroskopie (REM Analyse) wird die Mikrostruktur einer Oberflächen mit Hilfe eines Elektronenstrahls sehr fein untersucht. Dazu wird ein Primärelektronenstrahl mit Hilfe einer Elektronenkathode zur Beschleunigung zur Anode hin erzeugt. Anschließend wird dieser Elektronenstrahl durch elektromagnetische Linsen auf die Oberfläche des zu untersuchenden Objektes fokussiert und wird zeilenförmig über das darzustellende Objekt gerastert. Die dabei stattfindende Wechselwirkung der Elektronen mit der Oberfläche wird analysiert.

Der auf die Probe treffende Primärelektronenstrahl löst in der Oberfläche eine Vielzahl von Reaktionen aus. Der Sekundärelektronenkontrast (SE) bildet die Oberflächentopografie ab, da die energiearmen Sekundärelektronen aus inelastischen Stößen mit den oberflächennahen Bereichen entstammen. Materialanalysen erfolgen mit dem Materialkontrast (BSE), der durch die Rückstreuelektronen (RE) entsteht, die aus inelastischer als auch elastischer Streuung resultieren, welche den Energiebereich oberhalb der SE abdecken. Die Signalintensität ist dabei von der Ordnungszahl der Elemente abhängig. Schwere Elemente führen zu einer stärkeren Rückstreuung und erscheinen hell. Die leichteren Elemente (niedrige Ordnungszahl) erscheinen dunkel.

Prof. Dr.-Ing. Dietmar Schorr

E-Mail: kontakt@steinbeis-analysezentrum.com
Tel: +49 721 9735 831
Mobil: +49 172 9057349

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