EDX Analyse
Mit der EDX-Analyse (energiedispersive Röntgenspektroskopie) werden Werkstoffanalysen durchgeführt indem die chemische Elementzusammensetzung bestimmt wird. Wir bieten die EDX-Analysen am Rasterelektronenmikroskop (REM) als Dienstleistung an. Dieses Verfahren wird für präzise ortsaufgelöste Bestimmungen des Materials eingesetzt – Grundmaterial, Fremdmaterial, Partikel, Beschichtungen. Mit der energiedispersiven Röntgenspektroskopie lassen sich auch zerstörungsfreie Schichtdickenmessungen von sehr dünnen Schichten im Nanometerbereich vornehmen.
Die EDX Analyse stellt ein wichtiges Element innerhalb der Verschleiß- und Schadensanalyse dar. Diese hat zum Ziel die sogenannte Primärschadensursache bzw. Root Cause (“Wurzel allen Übels”) herauszufinden, um über deren Kenntnis Abhilfemaßnahmen zu definieren.
Um unserer hohe Analysequalität, nehmen wir an regelmäßigen Laborgleichen statt und konnten auch so beim letzten Laborvergleich EDX 2019 sehr gute Ergebnisse erzielen.
Leistungsübersicht REM EDX Analyse
- Werkstoffanalyse
- Partikelanalyse
- Fremdmaterial-Untersuchung
- Verschleißanalyse
- Schadensanalyse
- Schichtdickenmessung
- EDX Mapping
Gerne erstellen wir Ihnen ein Angebot für EDX-Analysen.
Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX)
Die Energiedispersive Röntgenspektroskopie (REM EDX Analyse) ist ein Verfahren der Röntgenmikroanalyse. Damit wird die chemische Elementzusammensetzung des Werkstoffes bestimmt. Dazu wird die Wechselwirkung der Primärelektronen des Elektronenstrahls und der Probenoberfläche zur Anregung einer Röntgenstrahlung ausgenutzt. Die Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX) am Rasterelektronenmikroskop (REM) beruht darauf, dass jedes chemische Element eine charakteristische Röntgenstrahlung aussendet, wenn es angeregt wird. Diese entsteht, wenn durch den Primärelektronenstrahl ein Elektron einer kernnäheren Schale herausgeschlagen wird. Bei der EDX Analyse wird mit einem Detektor die Energie der Röntgenstrahlung bestimmt. Diese ist charakteristisch für die im Werkstück enthaltenen Elemente. Man unterscheidet bei der energiedispersiven Röntgenspektroskopie Spotanalysen, Linienanalysen und Flächenanalysen. Während mit der Spotanalyse die Elementanalyse punktuell erfolgt liefert die Flächenanalysen (EDX Mapping) die Verteilung der chemischen Elemente über eine Fläche.
Rasterelektronenmikroskopie (REM)
Bei einem Rasterelektronenmikroskop (REM) wird die Oberfläche durch einen Primärelektronenstrahl beschossen. Dazu wird ein mit Hilfe einer Elektronenkathode zur Beschleunigung zur Anode hin erzeugt. Anschließend wird dieser Elektronenstrahl durch elektromagnetische Linsen auf die Oberfläche des zu untersuchenden Objektes fokussiert. Der fein gebündelte Elektronenstrahl wird zeilenförmig über das darzustellende Objekt geführt und die hierbei stattfindende Wechselwirkung der Elektronen mit der Oberfläche analysiert. Bei der REM Analyse löst der auf die Probe treffende Primärelektronenstrahl in der Oberfläche eine Vielzahl von Reaktionen aus. Der Sekundärelektronenkontrast (SE) bildet die Oberflächentopografie ab und dies mit einer sehr hohen Auflösung. Des Weiteren entstehen durch elastische Wechselwirkungen reflektierte Elektronen, der sogenannte Rückstreukontrast (BSE). Dieser wird auch als Materialkontrast bezeichnet.