EDX Analyse
Wir führen EDX-Analysen (Energiedispersive Röntgenspektroskopie) am Rasterelektronenmikroskop (REM) als Dienstleistung durch. Mit der REM EDX-Analyse wird die chemische Elementzusammensetzung für ortsaufgelöste Materialanalysen bestimmt. Dieses Verfahren wird z.B. zur Analyse von Beschichtungen, Partikeln, Verunreinigungen und unbekannten Materialien eingesetzt.
Als Steinbeis-Transferzentrum an der Hochschule in Karlsruhe sind wir spezialisiert auf die Analysen von Oberflächen und Materialien. Des Weiteren wird die REM EDX Analyse bei Verschleißanalysen eingesetzt, um bei adhäsivem Verschleiß den Materialübertrag zu analysieren. Mit der REM EDX Analyse werden auch zerstörungsfreie Schichtdickenmessungen von dünnen Schichten im Nanometerbereich durchgeführt.
Um unserer hohe Analysequalität, nehmen wir an regelmäßigen Laborgleichen statt und konnten auch so beim Laborvergleich EDX 2019 sehr gute Ergebnisse erzielen.
Leistungsübersicht REM EDX Analyse
- Materialanalyse
- Partikelanalyse
- Fremdmaterial-Untersuchung
- Verschleißanalyse
- Schichtdickenmessung
- Spotanalyse
- Linienanalyse
- Flächenanalyse (EDX Mapping)
Gerne erstellen wir Ihnen ein Angebot für EDX-Analysen.
Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX)
Die Energiedispersive Röntgenspektroskopie (REM EDX Analyse) ist ein Verfahren der Röntgenmikroanalyse. Damit wird lokal die chemische Elementzusammensetzung eines Bauteils bestimmt, um Materialanalysen vorzunehmen. Dazu wird die Wechselwirkung der Primärelektronen des Elektronenstrahls und der Probenoberfläche zur Anregung einer Röntgenstrahlung ausgenutzt. Die Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX) am Rasterelektronenmikroskop (REM) beruht darauf, dass jedes chemische Element eine charakteristische Röntgenstrahlung aussendet, wenn es angeregt wird. Diese entsteht, wenn durch den Primärelektronenstrahl ein Elektron einer kernnäheren Schale herausgeschlagen wird. Bei der EDX Analyse wird mit einem Detektor die Energie der Röntgenstrahlung bestimmt. Diese ist charakteristisch für die im Werkstück enthaltenen Elemente. Man unterscheidet bei der energiedispersiven Röntgenspektroskopie Spotanalysen, Linienanalysen und Flächenanalysen. Während mit der Spotanalyse die Elementanalyse punktuell erfolgt liefert die Flächenanalysen (EDX Mapping) die Verteilung der chemischen Elemente über eine Fläche.
Rasterelektronenmikroskopie (REM)
Bei einem Rasterelektronenmikroskop (REM) wird die Oberfläche durch einen Primärelektronenstrahl beschossen. Dazu wird ein mit Hilfe einer Elektronenkathode zur Beschleunigung zur Anode hin erzeugt. Anschließend wird dieser Elektronenstrahl durch elektromagnetische Linsen auf die Oberfläche des zu untersuchenden Objektes fokussiert. Der fein gebündelte Elektronenstrahl wird zeilenförmig über das darzustellende Objekt geführt und die hierbei stattfindende Wechselwirkung der Elektronen mit der Oberfläche analysiert. Bei der REM Analyse löst der auf die Probe treffende Primärelektronenstrahl in der Oberfläche eine Vielzahl von Reaktionen aus. Der Sekundärelektronenkontrast (SE) bildet die Oberflächentopografie ab und dies mit einer sehr hohen Auflösung. Des Weiteren entstehen durch elastische Wechselwirkungen reflektierte Elektronen, der sogenannte Rückstreukontrast (BSE). Dieser wird auch als Materialkontrast bezeichnet.