Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA, XRF)
Mit der Röntgen-Fluoreszenz-Analyse (RFA), im Englischen X-RAY Fluorescence Spectroscopy (XRF), wird die chemische Zusammensetzung für Materialanalysen oder Materialprüfungen bestimmt und zerstörungsfreie Schichtdickenmessungen durchgeführt. Damit lassen sich die Zusammensetzungen von Metallen und Nichtmetallen präzise bestimmen. Die RFA Analyse funktioniert auch für elektrisch nicht leitende oder temperaturempfindliche Materialien, da keiner Erwärmung der Probe stattfindet.
Wir bieten die Röntgen-Fluoreszenz-Analyse für Materialanalysen und Schichtdickenmessungen als Dienstleistung an.
Leistungen im Bereich RFA-Analyse:
- Identifizierung von Stahl- und Buntmetall-Legierungen
- Reinheitsbestimmung von Edelmetallen (Gold, Silber, Platin, …)
- Analyse von Grobkeramik (Baukeramik, Grobsteinzeug, Irdengut)
- Analyse von Feinkeramik, (Hartporzellan, Weichporzellan, Feinsteinzeug)
- Analyse von Technischer Keramik (elektrotechn. Keramik, Sonderkeramik)
- Untersuchung auf RoHS Konformität (Grenzkonzentrationen Cr, Cd, Hg, Pb, Br)
- Schichtdickenmessungen von dünnen Beschichtungen (5 nm bis 10 µm)
RFA Analyse
Bei der RFA-Analyse handelt es sich um eine spektroskopische Technik, mit welcher sich die Identitäten und die Konzentrationen von chemischen Elementen bestimmen lassen. Die Nachweisgrenzen der Elementkonzentrationen liegen, abhängig von dem zu bestimmenden Element, im Bereich von ca. 10 ppm. Mit der RFA-XRF-Methode können die Schichtdicken von Einzelschichten und Mehrschichtsystemen zerstörungsfrei bestimmt werden. Das findet oftmals Anwendung für galvanisch abgeschiedene Beschichtungen.
Verfahren
Bei der RFA Analyse wird mittels einer Röntgenröhre die Probe mit Röntgenphotonen bestrahlt (Röntgenstrahlung). Aufgrund der hohen Energie der Photonen entfernen diese auf den inneren Schalen der Atome ein Elektron. Diese Lücke wird durch ein Elektron geschlossen, welches sich ursprünglich auf einer weiter außen liegenden Bahn befindet. Dadurch gibt dieses ein Röntgenphoton abgibt, die sogenannte Fluoreszenzstrahlung. Die Energie dieses Röntgenphotons ist für ein bestimmtes Element charakteristisch. Ein Detektor erfasst die Fluoreszenz und durch Verarbeitung der Signale entsteht ein Spektrum mit den Peaks der chemischen Elemente, deren proportional der Konzentration ist.

Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA, XRF)
Gerne erstellen wir Ihnen ein Angebot für Röntgenfluoreszenzanalysen.
Schichtdickenmessung
Die RFA-Methode nutzt die Röntgenfluoreszenzanregung der Elemente der Schichtmaterialien und/oder des Substrats als Signalquelle. Mit RFA lassen sich auch Mehrschichtsysteme messen, wozu allerdings die Schichtfolge bekannt sein. Eine weitere Bedingung ist, dass die Elemente, aus denen die Schicht oder die Schichten bestehen, und gegebenenfalls auch die Elemente des Substrats mit RFA messbar sind. Weiterhin dürfen die Schichten nicht so dick sein, dass sich das Messsignal mit der Schichtdicke nicht mehr ändert.