Modell TMS-100
Optisches Ebenheitsmessgerät für optische Messungen von Ebenheit und Parallelität
Mit dem optischen Ebenheitsmessgerät wird die Ebenheit und Parallelität von Oberflächen sehr genau und mit einer höheren Genauigkeit als mit einer Koordinatenmessmaschine bestimmt. Es werden berührungslos Formabweichungen von geschliffenen, polierten, gefinishten oder geläppten Oberflächen im Mikrometer- und Submikrometerbereich bestimmt. Das Oberflächenmessgerät TMS-100 TopMap ist ein Weißlichtinterferometer mit einem deutlich größeren Messfeld als bei einem WLI üblich. Es tastet die Oberfläche sehr präzise und berührungslos ab.
Wir führen optische Messungen der Ebenheit und Parallelität von Oberflächen als Dienstleistung durch.
Analysen
- Ebenheitsabweichung
- Parallelitätsabweichung
- Schichtdickenmessung
Materialien
- Metall
- Keramik
- Kunststoff
- Glas
Normen
- Ebenheit: ISO 12781
- Parallelität: ISO 1101
Beispiel
- Ergebnis optische Ebenheitsmessung
Spezifikation
- Lichtquelle: Weißlicht
- Auflösung: 2.83 nm vertikal, 26.7 µm lateral
- Messfeld: 37 x 28 mm²
- Messbereich vertikal: 70 mm
- Schichtdicke: > 8 µm, max. 8 Einzelschichten
Optische Ebenheitsmessung
Das optische Ebenheits- und Parallelitätsmessgerät TMS-100 TopMap dient zur berührungslosen Messung der Ebenheit, Welligkeit und Krümmung (Warp, Bow) von glatten Oberflächen. Das optische Messprinzip gewährleistet eine hohe Genauigkeit von bis zu 0,1 µm absolut über das gesamte Messfeld. Durch die berührungslose Oberflächenmessung ist die optische Ebenheitsmessung für empfindliche Materialien geeignet. Das Spektrum der Oberflächenprüfung reicht von Bauteilen für die Automobil-, Luftfahrt- und Halbleiterindustrie bis hin zur Medizintechnik.