Modell LEXT OLS 4100
Konfokales Laser Scanning-Mikroskop für optische Oberflächenmessung 2D/3D und Schichtdickenmessung
Mit dem konfokalen Laser-Scanning-Mikroskop (CLSM), als spezielle Form eines Konfokalmikroskopes, werden optische Oberflächenmessungen zur Bestimmung von Rauheit, Welligkeit und Ebenheit durchgeführt. Dabei wird die Oberfläche berührungslos mit einem Laser präzise abgetastet, so dass auch feinste Strukturen erfasst werden. Die optische Messung einer Oberfläche erreicht eine wesentlich höhere Auflösung und Genauigkeit als die taktile Messung mit einer Tastspitze. Darüber hinaus können im Gegensatz zur taktilen Messung mit einem Tastschnittgerät auch empfindliche Materialoberflächen gemessen werden.
Hier sind einige Anwendungen des konfokalen Laser-Scanning-Mikroskops:
- Oberflächencharakterisierung: Optische Messgeräte werden zur präzisen dreidimensionalen Vermessung der Oberflächentopographie eingesetzt. Damit können Rauheit, Welligkeit und andere Texturen bestimmt werden.
- Schichtdickenmessung: Die Schichtdicken dünner transparenter Schichten auf Substraten können mit einem optischen Messgerät zerstörungsfrei bestimmt werden.
- Qualitätskontrolle: Optische Oberflächenmessgeräte werden in der Produktion und Qualitätssicherung eingesetzt, um sicherzustellen, dass Produkte die gewünschten Oberflächeneigenschaften und -qualitäten aufweisen.
- Schadensanalyse: Die optischen Messgeräte dienen zur Untersuchung von Verschleißerscheinungen bei Schadensfällen, um auf die zugrunde liegende Schadensursache schließen zu können.
Wir führen optische Oberflächenmessungen mit dem konfokalen Laser-Scanning-Mikroskop als Dienstleistung durch.
Analysen
- 2D-Profil-Rauheit
- 2D-Profil-Welligkeit
- 3D-Flächen-Rauheit
- 3D-Flächen-Welligkeit
- Ebenheit messen
- Parallelität messen
- Schichtdickenmessung
- Folienstärken bestimmen
- Strukturanalys
Kennwerte 2D/3D
- ISO 4287: Pt, Ra, Rz, Rz1max, Rq, Rmr, Rdc, Wt, …
- ISO 13565-2: Rpk, Rk, Rvk, …
- ISO 21920-2: Pt, Ra, Rz, Rzx, Rq, Rmr, Rdc, Rpk, Rk, Rvk, Wt, …
- ISO 25178-2: Sa, Sz, Sq, Sdq, Smr, Sdr, Str, …
- ISO 12781-1: FLTt
Materialien
- Metalle
- Kunststoffe
- Gummi
- Folien
- Keramiken
- Gläser
Beispiel
- Mikrostruktur einer Oberfläche
Spezifikation
- Lichtquelle: violetter Laser (405 nm)
- Auflösung: 8 nm vertikal, 120 nm lateral
- Vergrößerung: bis zu 8000-fach
- Max. Bauteilhöhe: 100 mm
- Max. Scanhöhe: 10 mm
- Max. Messfeldgröße: 100 x 100 mm
- Schichtdicken (Durchlicht: 5 – 100 µm, Stufenhöhenmessung: ab 8 nm)
Konfokalmikroskopie
Bei der Konfokalmikroskopie wird die Probe ohne umfangreiche Vorbehandlung unter atmosphärischen Bedingungen vermessen. Die Konfokalmikroskopie erlaubt die Messung von Oberflächen verschiedenster Materialien und unterschiedlicher Rauheiten. Aus der optischen Messung der Oberflächenrauheit werden Oberflächenstrukturen, Konturen und die Oberflächenkenngrößen bestimmt. Der Aufbau eines Konfokalmikroskops ist dem eines klassischen Mikroskops sehr ähnlich. Durch ein Linsensystem wird ein Objekt vergrößert und auf einem Detektor (Photomultiplier) abgebildet. Bei einem Konfokalmikroskop wird kurz vor dem Detektor, durch eine bündelnde Linse, ein Zwischenfokus erzeugt, in welchem sich eine sehr kleine Blende befindet. Durch die Möglichkeit der Zusammensetzung von Einzelmessfelder (Stitching) können auch größere Oberflächenbereiche vermessen werden.