Modell Zegage 0101
Mobiles Weißlichtinterferometer (WLI) für mobile optische Rauheitsmessung und Oberflächenmessungen
Das Kohärenz-Scanning-Weißlichtinterferometer wird im Steinbeis-Transferzentrum für mobile optische Oberflächen- und Rauheitsmessungen eingesetzt. Es handelt sich bei dem ZeGage de Fa. Ametek um ein spezielles optisches Oberflächenmessgerät (Weißlichtinterferometer), welches keine besonderen Maßnahmen zur Schwingungsisolierung benötigt. Deshalb können damit optische Oberflächenmessungen vor Ort ohne luftgelagerten Tisch durchgeführt werden. Da das Weißlichtinterferometer als optisches Messgerät berührungslos arbeitet, sind Messungen von empfindlichen Materialien möglich.
Als Prüflabor an der Hochschule in Karlsruhe bieten wir optische Oberflächenmessungen vor Ort als Dienstleistung an. Wir beraten auch gerne hinsichtlich geeigneter Oberflächenkenngrößen 2D/3D der entsprechenden Normen für die Charakterisierung von Oberflächen.
Analysen
- Oberflächenrauheit 2D
- Oberflächenwelligkeit 2D
- Oberflächenrauheit 3D
- Oberflächenwelligkeit 3D
- Materialanteil (Traganteil)
- Konturanalyse
- Strukturanalyse
- Furchen-/Riefenanalyse
- Stufenhöhe
Kennwerte 2D/3D
- ISO 4287: Pt, Ra, Rz, Rq, Rmr, Rmr, …
- ISO 13565-2: Rpk, Rk, Rvk, …
- ISO 25178-2: Sa, Sz, Sq, Sdq, Smr, Sdr, Str, …
- prEN ISO 21920-2
Materialien
- Metalle
- Keramiken
- Gläser
Normen
- ISO 4287, ISO 13565-2
- ISO 25178
Beispiel
- Flächen-Rauheit 3D
- Profil-Rauheit 2D
Spezifikation
- Auflösung: 3 nm vertikal, 620 nm lateral
- Höhenscanbereich: 20 mm
- Einzelmessfeld: 167 x 167 µm – 4.17 x 4.17 mm
Weißlichtinterferometrie
Weißlichtinterferometer verwenden breitbandiges Licht im sichtbaren Bereich. Mathematisch lässt sich das abgestrahlte Bündel an Frequenzen als ein Wellenpaket mit einer mittleren Frequenz zusammenfassen, dessen Ausdehnung und Form von der spektralen Verteilung definiert wird. Das Wellenpaket wird in einem Strahlteiler in zwei gleichartige Portionen zerlegt. Ein Teil trifft im Referenzarm auf einen Spiegel und wird dort zurück reflektiert. Der andere Teil reflektiert auf der Objektoberfläche. Beide Pakete werden auf dem Rückweg wieder im Strahlteiler vereinigt. Sind die optischen Wege der beiden Teilstrahlen nahezu gleich, dann treffen sich die zuvor getrennten Wellenpakete wieder und können messbar interferieren. Durch die Möglichkeit der Zusammensetzung von Einzelmessfelder (Stitching) können auch größere Oberflächenbereiche vermessen werden.
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