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Mobiles
Weißlichtinterferometer

Zegage 0101 Ametek

www.ametek.de

Modell Zegage 0101

Modell Zegage 0101

Mobiles Weißlichtinterferometer (WLI) für mobile optische Rauheitsmessung und Oberflächenmessungen

Das Kohärenz-Scanning-Weißlichtinterferometer wird im Steinbeis-Transferzentrum für mobile optische Oberflächen- und Rauheitsmessungen eingesetzt. Es handelt sich bei dem ZeGage de Fa. Ametek um ein spezielles optisches Oberflächenmessgerät (Weißlichtinterferometer), welches keine besonderen Maßnahmen zur Schwingungsisolierung benötigt. Deshalb können damit optische Oberflächenmessungen vor Ort ohne luftgelagerten Tisch durchgeführt werden. Da das Weißlichtinterferometer als optisches Messgerät berührungslos arbeitet, sind Messungen von empfindlichen Materialien möglich.

Als Prüflabor an der Hochschule in Karlsruhe bieten wir optische Oberflächenmessungen vor Ort als Dienstleistung an. Wir beraten auch gerne hinsichtlich geeigneter Oberflächenkenngrößen 2D/3D der entsprechenden Normen für die Charakterisierung von Oberflächen.

Analysen

  • Oberflächenrauheit 2D
  • Oberflächenwelligkeit 2D
  • Oberflächenrauheit 3D
  • Oberflächenwelligkeit 3D
  • Materialanteil (Traganteil)
  • Konturanalyse
  • Strukturanalyse
  • Furchen-/Riefenanalyse
  • Stufenhöhe

Kennwerte 2D/3D

  • ISO 4287: Pt, Ra, Rz, Rq, Rmr, Rmr, …
  • ISO 13565-2: Rpk, Rk, Rvk, …
  • ISO 25178-2: Sa, Sz, Sq, Sdq, Smr, Sdr, Str, …
  • prEN ISO 21920-2

Materialien

  • Metalle
  • Keramiken
  • Gläser

Normen

  • ISO 4287, ISO 13565-2
  • ISO 25178

Beispiel

  • Flächen-Rauheit 3D

  • Profil-Rauheit 2D

Spezifikation

  • Auflösung: 3 nm vertikal, 620 nm lateral
  • Höhenscanbereich: 20 mm
  • Einzelmessfeld: 167 x 167 µm – 4.17 x 4.17 mm

Weißlichtinterferometrie

Weißlichtinterferometer verwenden breitbandiges Licht im sichtbaren Bereich. Mathematisch lässt sich das abgestrahlte Bündel an Frequenzen als ein Wellenpaket mit einer mittleren Frequenz zusammenfassen, dessen Ausdehnung und Form von der spektralen Verteilung definiert wird. Das Wellenpaket wird in einem Strahlteiler in zwei gleichartige Portionen zerlegt. Ein Teil trifft im Referenzarm auf einen Spiegel und wird dort zurück reflektiert. Der andere Teil reflektiert auf der Objektoberfläche. Beide Pakete werden auf dem Rückweg wieder im Strahlteiler vereinigt. Sind die optischen Wege der beiden Teilstrahlen nahezu gleich, dann treffen sich die zuvor getrennten Wellenpakete wieder und können messbar interferieren. Durch die Möglichkeit der Zusammensetzung von Einzelmessfelder (Stitching) können auch größere Oberflächenbereiche vermessen werden.

Verwandte Themenbereiche

  • Oberflächen- und Rauheitsmessung 2D/3D
  • Oberflächenangaben Zeichnungen
  • Seminar Rauheit
Prof. Dr.-Ing. Dietmar Schorr

E-Mail: kontakt@steinbeis-analysezentrum.com
Tel: +49 721 9735 831
Mobil: +49 172 9057349

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