Modell Zegage 0101
Mobiles Weißlichtinterferometer (WLI) für mobile optische Rauheitsmessung und Oberflächenmessungen
Das Kohärenz-Scanning-Weißlichtinterferometer wird im Steinbeis-Transferzentrum für mobile optische Oberflächen- und Rauheitsmessungen eingesetzt. Es handelt sich bei dem ZeGage de Fa. Ametek um ein spezielles optisches Oberflächenmessgerät (Weißlichtinterferometer), welches keine besonderen Maßnahmen zur Schwingungsisolierung benötigt. Deshalb können damit optische Oberflächenmessungen vor Ort ohne luftgelagerten Tisch durchgeführt werden. Da das Weißlichtinterferometer als optisches Messgerät berührungslos arbeitet, sind Messungen von empfindlichen Materialien möglich.
Als Prüflabor an der Hochschule in Karlsruhe bieten wir optische Oberflächenmessungen vor Ort als Dienstleistung an. Wir beraten auch gerne hinsichtlich geeigneter Oberflächenkenngrößen 2D/3D der entsprechenden Normen für die Charakterisierung von Oberflächen.
Analysen
- Profilrauheit 2D
- Profilwelligkeit 2D
- Flächenrauheit 3D
- Flächenwelligkeit 3D
- Material(trag)anteil
- Konturanalyse
- Strukturanalyse
- Furchenanalyse
- Stufenhöhe
Materialien
- Metalle
- Keramiken
- Gläser
Normen
- Profilkenngrößen 2D: ISO 4287, ISO 13565-2
- Flächenkenngrößen 3D: ISO 25178-2
Beispiel
- Flächenrauheit 3D
- Profilrauheit 2D
Spezifikation
- Auflösung: 3 nm vertikal, 620 nm lateral
- Höhenscanbereich: 20 mm
- Einzelmessfeld: 167 x 167 µm – 4.17 x 4.17 mm
Weißlichtinterferometrie
Die Weißlichtinterferometer werden überwiegend in der Qualitätssicherung und in Feinmessräumen eingesetzt. Der relativ große und damit sichere Messabstand, die hohe Scangeschwindigkeit und die hohe Wiederholbarkeit ermöglichen auch einen Einsatz in der Fertigungsumgebung. In der Entwicklung und in der Erprobung werden tribologische Analysen mit einem Weißlichtinterferometer durchgeführt. Neben Verschleißtiefen auf ebenen Flächen können auch Schichtabplatzer auf kegelförmigen Flächen oder Kavitationsschäden optisch vermessen werden. Der Vorteil der Interferometrie ist die große Anwendungsbreite, wenn es um hochpräzise, flächenhafte Oberflächenmessungen geht. Aus dieser optischen Messung der Oberflächenrauheit können Topographiestrukturen, Konturen und die Oberflächenkenngrößen bestimmt werden. Mit der Interferometrie werden dreidimensionale Oberflächenmessungen auf der mikroskopischen Größenskala durchgeführt.
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