Modell Zegage 0101
Mobiles Weißlichtinterferometer (WLI) für mobile optische Rauheitsmessung und Oberflächenmessungen
Das Kohärenz-Scanning-Weißlichtinterferometer wird im Steinbeis-Transferzentrum für mobile optische Oberflächen- und Rauheitsmessungen eingesetzt. Es handelt sich bei dem ZeGage de Fa. Ametek um ein spezielles optisches Oberflächenmessgerät (Weißlichtinterferometer), welches keine besonderen Maßnahmen zur Schwingungsisolierung benötigt. Deshalb können damit optische Oberflächenmessungen vor Ort ohne luftgelagerten Tisch durchgeführt werden. Durch die optische Oberflächenmessung ist es möglich die Mikrostruktur einer Oberfläche mit ausreichender Genauigkeit zu erfassen. Durch die dreidimensionale Messung werden alle Strukturen erfasst und da die optischen Verfahren berührungslos arbeiten, werden die empfindlichen Oberflächenstrukturen nicht beschädigt. Aus den Messungen werden die Oberflächenparameter der ISO Normen für Rauheit und Welligkeit bestimmt.
Wir bieten als Steinbeis-Transferzentrum optische Oberflächenmessungen als Dienstleistung an und bestimmen die Kennwerte 2D/3D.
Analysen
- Oberflächen Rauheit 2D/3D
- Oberflächen Welligkeit 2D/3D
- Ebenheit messen
- Parallelität messen
- Schichtdickenmessung
- Strukturanalyse
Kennwerte 2D/3D
- ISO 4287: Pt, Ra, Rz, Rz1max, Rq, Rmr, Rdc, Wt, …
- ISO 13565-2: Rpk, Rk, Rvk, …
- ISO 21920-2: Pt, Ra, Rz, Rzx, Rq, Rmr, Rdc, Rpk, Rk, Rvk, Wt, …
- ISO 25178-2: Sa, Sz, Sq, Sdq, Smr, Sdr, Str, …
Beispiel
- Flächen-Rauheit 3D
- Profil-Rauheit 2D
Spezifikation
- Auflösung: 3 nm vertikal, 620 nm lateral
- Höhenscanbereich: 20 mm
- Einzelmessfeld: 167 x 167 µm – 4.17 x 4.17 mm
Weißlichtinterferometrie
Weißlichtinterferometer verwenden breitbandiges Licht im sichtbaren Bereich. Mathematisch lässt sich das abgestrahlte Bündel an Frequenzen als ein Wellenpaket mit einer mittleren Frequenz zusammenfassen, dessen Ausdehnung und Form von der spektralen Verteilung definiert wird. Das Wellenpaket wird in einem Strahlteiler in zwei gleichartige Portionen zerlegt. Ein Teil trifft im Referenzarm auf einen Spiegel und wird dort zurück reflektiert. Der andere Teil reflektiert auf der Objektoberfläche. Beide Pakete werden auf dem Rückweg wieder im Strahlteiler vereinigt. Sind die optischen Wege der beiden Teilstrahlen nahezu gleich, dann treffen sich die zuvor getrennten Wellenpakete wieder und können messbar interferieren. Durch die Möglichkeit der Zusammensetzung von Einzelmessfelder (Stitching) können auch größere Oberflächenbereiche vermessen werden.