Modell Zegage 0101
Mobiles Weißlichtinterferometer (WLI) für mobile optische Rauheitsmessung und Oberflächenmessungen
Ein Weißlichtinterferometer ist ein Messgerät, das auf den Prinzipien der Interferometrie basiert und zur hochpräzisen Messung von Oberflächenprofilen, Dicken, Rauheit und anderen optischen Parametern von Materialien verwendet wird. Hier sind einige Anwendungen und Einsatzbereiche von Weißlichtinterferometern:
- Oberflächenprofilmessung: Weißlichtinterferometer werden häufig eingesetzt, um präzise dreidimensionale Oberflächenprofile von Materialien zu messen. Dies ist wichtig in Bereichen wie der Qualitätssicherung von Produkten, insbesondere wenn die Oberflächenrauhigkeit und -beschaffenheit von Bedeutung sind.
- Dicke von transparenten Schichten: In der Halbleiterindustrie und anderen Bereichen, in denen dünne transparente Schichten auf Substraten aufgebracht werden, kann ein Weißlichtinterferometer verwendet werden, um die Dicke dieser Schichten genau zu messen.
- Rauheitsmessung: Weißlichtinterferometer ermöglichen präzise Messungen der Oberflächenrauheit. Dies ist insbesondere in Industrien wie der Fertigung, der Elektronik und der Optik wichtig.
- Qualitätskontrolle: In der Produktion und Qualitätssicherung wird das Weißlichtinterferometer eingesetzt, um sicherzustellen, dass Produkte die gewünschten Oberflächeneigenschaften und -qualitäten erfüllen.
- Mikrostrukturen und Mikrooptik: Das Weißlichtinterferometer wird in der Charakterisierung von Mikrostrukturen und Mikrooptiken verwendet. Dies ist relevant in Bereichen wie Mikroelektronik, Mikromechanik und Optik.
- Präzisionsmessungen: Aufgrund seiner Fähigkeit, hochpräzise Messungen durchzuführen, wird das Weißlichtinterferometer auch in wissenschaftlichen Forschungseinrichtungen und Laboren eingesetzt, um genaue optische Parameter von Materialien zu untersuchen.
- Oberflächeninspektion in der Medizintechnik: In der Medizintechnik kann ein Weißlichtinterferometer für die Inspektion und Charakterisierung von medizinischen Implantaten und Oberflächen verwendet werden.
Das Weißlichtinterferometer bietet Vorteile wie hohe Genauigkeit, schnelle Messungen und die Fähigkeit, sowohl reflektierende als auch transparente Oberflächen zu analysieren. Aufgrund seiner vielseitigen Anwendungen wird es in verschiedenen Industrien und Forschungsbereichen eingesetzt, wo präzise optische Messungen von Oberflächen erforderlich sind.
Analysen
- Oberflächen Rauheit 2D/3D
- Oberflächen Welligkeit 2D/3D
- Ebenheit messen
- Parallelität messen
- Schichtdickenmessung
- Strukturanalyse
Kennwerte 2D/3D
- ISO 4287: Pt, Ra, Rz, Rz1max, Rq, Rmr, Rdc, Wt, …
- ISO 13565-2: Rpk, Rk, Rvk, …
- ISO 21920-2: Pt, Ra, Rz, Rzx, Rq, Rmr, Rdc, Rpk, Rk, Rvk, Wt, …
- ISO 25178-2: Sa, Sz, Sq, Sdq, Smr, Sdr, Str, …
Beispiel
- Flächen-Rauheit 3D
- Profil-Rauheit 2D
Spezifikation
- Auflösung: 3 nm vertikal, 620 nm lateral
- Höhenscanbereich: 20 mm
- Einzelmessfeld: 167 x 167 µm – 4.17 x 4.17 mm
Weißlichtinterferometrie
Weißlichtinterferometer verwenden breitbandiges Licht im sichtbaren Bereich. Mathematisch lässt sich das abgestrahlte Bündel an Frequenzen als ein Wellenpaket mit einer mittleren Frequenz zusammenfassen, dessen Ausdehnung und Form von der spektralen Verteilung definiert wird. Das Wellenpaket wird in einem Strahlteiler in zwei gleichartige Portionen zerlegt. Ein Teil trifft im Referenzarm auf einen Spiegel und wird dort zurück reflektiert. Der andere Teil reflektiert auf der Objektoberfläche. Beide Pakete werden auf dem Rückweg wieder im Strahlteiler vereinigt. Sind die optischen Wege der beiden Teilstrahlen nahezu gleich, dann treffen sich die zuvor getrennten Wellenpakete wieder und können messbar interferieren. Durch die Möglichkeit der Zusammensetzung von Einzelmessfelder (Stitching) können auch größere Oberflächenbereiche vermessen werden.