Modell Evo MA 10
Rasterelektronenmikroskopie zur Untersuchung von Mikrostrukturen (REM Analyse), chemische Elementzusammensetzung (EDX Analyse) und Kristallstrukturanalyse (EBSD)
REM Analyse
Mit dem Rasterelektronenmikroskop (REM) werden bildgebende tiefenscharfe Mikrobereichsanalysen der Oberfläche mit hoher Vergrößerung durchgeführt. Damit lässt sich die Mikrostruktur einer Oberfläche hervorragend untersuchen. Deshalb wird das Rasterelektronenmikroskop bei der Untersuchung von Verschleiß- und Schadensfällen eingesetzt und bei medizintechnischen Produkten zur Untersuchung der feinen Oberflächenstrukturen. Durch die Möglichkeit der 3D-Rekonstruktion einer Oberfläche ist es sogar möglich die Oberflächenstrukturen incl. Rauheitsgrößen dreidimensional zu vermessen. Mithilfe des am REM verbauten EDX Detektors kann die chemische Zusammensetzung des Materials oberflächennah durchgeführt werden. Damit kann die Schichtzusammensetzung, Korrosionserscheinungen oder die Herkunft von Partikeln untersucht werden.
Das Steinbeis-Transferzentrum Tribologie bietet beispielsweise folgende Untersuchungen am REM als Dienstleistung an:
- Untersuchung Mikrostrukturen
- Mikrobereichsanalyse
- Korrosionsuntersuchung
- Verschleißuntersuchungen
- Schadensanalyse
- Analyse von Partikeln
- Materialzusammensetzung
Bei der Rasterelektronenmikroskopie wird die Probenoberfläche anstatt mit Licht durch Elektronen abgebildet. Der fein gebündelte Elektronenstrahl wird zeilenförmig über das vergrößert darzustellende Objekt geführt und die hierbei stattfindende Wechselwirkung zur Erzeugung eines Bildes des Objekts genutzt.
Anwendungen
- Bildaufnahmen großer Vergrößerung und hoher Tiefenschärfe
Materialien
- Leitende Proben (z.B. Metalle)
- Nichtleitende Proben (z.B. Kunststoffe)
Beispiel
- Bildaufnahme REM-Analytik
Spezifikation
- Beschleunigungsspannung: 0.2 bis 30 kV
- Auflösung: 3.0 nm bei 30 kV
- Vergrößerung: 7 – 20 000-fach
- Sekundärelektronendetektor (SE)
- Rückstreuelektronendetektor (BSD)
EDX Analyse (Röntgenmikroanalyse)
Die Energiedispersive Röntgenanalyse (EDX Analyse) ist ein Verfahren der Röntgenmikroanalyse und wird zur Charakterisierung der chemischen Zusammensetzung von oberflächennahen Bereichen eingesetzt. Man unterscheidet hierbei Spotanalysen (punktuell), Linienanalysen und Flächenanalysen (Elementmapping). Mit einem Elementmapping wird die Verteilung der chemischen Elemente über die Probenfläche ermittelt.
Die bei der EDX Untersuchung verwendete Röntgenstrahlung entsteht durch Wechselwirkungen des Elektronenstrahls mit der Oberfläche des Festkörpers. Mithilfe von Detektoren wird bei der EDX Analyse die Energie dieser Strahlung bestimmt und zur Identifizierung der Elemente herangezogen.
Anwendungen
- Chemische Elementzusammensetzung
- Spot-, Linien-, Flächenanalyse
Chemische Zusammensetzung mit REM EDX Analyse
Kristallstrukturanalyse (EBSD)
Die Kristallstruktur- und Mikrotextur-Analyse (EBSD – Electron backscatter diffraction) ermöglicht ein ortsaufgelöstes Mapping der Kristallstruktur und der Mikrotextur, sowie die Analyse von Materialverspannungen (Orientierungsmikroskopie).