Modell NewView 5032
Weißlichtinterferometer (WLI) für optische Oberflächenmessung und Rauheitsmessung
Mit dem Weißlichtinterferometer (WLI) werden optische Oberflächenmessungen für Rauheit, Welligkeit und Ebenheit von Bauteiloberflächen durchgeführt. Durch die optische Oberflächenmessung ist es möglich die Mikrostruktur einer Oberfläche mit ausreichender Genauigkeit zu erfassen. Durch die dreidimensionale Messung werden alle Strukturen erfasst und da die optischen Verfahren berührungslos arbeiten, werden die empfindlichen Oberflächenstrukturen nicht beschädigt. Aus den Messungen werden die Oberflächenparameter der ISO Normen für Rauheit, Welligkeit und Ebenheit berechnet. Die Oberflächen von großen Bauteilen oder von optisch nicht zugänglicher Stellen (z.B. Bohrungen) werden durch ein spezielles Material negativ abgeformt und anschließend optisch vermessen. Das Weißlichtinterferometer eignet sich insbesondere zur Messung von Oberflächen mit einer sehr geringen Oberflächenrauheit. Deshalb können mit einem WLI Oberflächen von Spiegeln und Gläsern vermessen werden.
Wir bieten optische Oberflächenmessungen mit Bestimmung von Kennwerten und Strukturanalysen als Dienstleistung an. Des Weiteren beraten wir bzgl. geeigneter Kennwerte zur Charakterisierung von Oberflächen.
Analysen
- Profil-Rauheit 2D
- Profil-Welligkeit 2D
- Flächen-Rauheit 3D
- Flächen-Welligkeit 3D
- Material(trag)anteil
- Ebenheit
- Parallelität
- Stufenmessung
- Konturanalyse
- Strukturanalyse
Kennwerte 2D/3D
- ISO 4287: Pt, Ra, Rz, Rq, Rmr, Rmr, Wt, …
- ISO 13565-2: Rpk, Rk, Rvk, …
- ISO 25178-2: Sa, Sz, Sq, Sdq, Smr, Sdr, Str, …
- prEN ISO 21920-2
- ISO 12181-1: RONt
- ISO 12781-1: FLTt
Materialien
- Metalle
- Gläser
Beispiel
- Oberflächentopographie
Oberflächenmessung 3D
- Stufenmessung
Spezifikation
- Lichtquelle: Weißlicht
- Auflösung: 0.1 nm vertikal, 640 nm lateral
- Vergrößerung: bis zu 2000-fach
- Bauteilhöhe: 180 mm
- Höhenscan: 150 µm
- Max. Messfeldgröße: 152 x 132 mm
- Einzelnes Messfeld: 70 x 55 µm – 2.82 x 2.12 mm
Weißlicht-Interferometrie
Weißlichtinterferometer verwenden breitbandiges Licht im sichtbaren Bereich. Mathematisch lässt sich das abgestrahlte Bündel an Frequenzen als ein Wellenpaket mit einer mittleren Frequenz zusammenfassen, dessen Ausdehnung und Form von der spektralen Verteilung definiert wird. Das Wellenpaket wird in einem Strahlteiler in zwei gleichartige Portionen zerlegt. Ein Teil trifft im Referenzarm auf einen Spiegel und wird dort zurück reflektiert. Der andere Teil reflektiert auf der Objektoberfläche. Beide Pakete werden auf dem Rückweg wieder im Strahlteiler vereinigt. Sind die optischen Wege der beiden Teilstrahlen nahezu gleich, dann treffen sich die zuvor getrennten Wellenpakete wieder und können messbar interferieren. Durch die Möglichkeit der Zusammensetzung von Einzelmessfelder (Stitching) können auch größere Oberflächenbereiche vermessen werden.