Modell NewView 5032
Weißlichtinterferometer (WLI) für optische Oberflächenmessung und Rauheitsmessung
Mit dem Weißlichtinterferometer (WLI) werden optische Oberflächenmessungen im Steinbeis-Transferzentrum durchgeführt und damit die Oberflächenrauheit- und Welligkeit analysiert. Durch die optische Oberflächenmessung der Rauheit ist es möglich die Mikrostruktur der Oberfläche sehr genau und zudem dreidimensional zu erfassen. Anschließend wird diese über Kenngrößen für die Oberflächenrauheit 2D/3D und für die Form charakterisiert. Da die optische Messung berührungslos arbeitet, wird nicht wie bei der taktilen Messung die zu messende Oberfläche durch eine harte Diamantspitze beschädigt. Wir bieten optische Oberflächenmessungen als Dienstleistung an und beraten Sie gerne hinsichtlich geeigneter Kenngrößen für Oberflächen. Die Oberflächen von großen Bauteilen oder von optisch nicht zugänglicher Stellen (z.B. Bohrungen) werden durch ein spezielles Material negativ abgeformt und anschließend optisch vermessen.
Des Weiteren bieten wir auch Charakterisierungen von speziellen Oberflächenstrukturen wie z.B. Riefen, Texturen, Schlagstellen, Partikel uvm. an. Diese Merkmale werden durch Strukturanalysen quantifiziert, weil diese nicht durch die Kenngrößen der existierenden Normen beschreibbar sind.
Das Weißlichtinterferometer eignet sich insbesondere zur Messung von Oberflächen mit einer sehr geringen Oberflächenrauheit. Deshalb können mit einem WLI Oberflächen von Spiegeln und Gläsern vermessen werden.
Analysen
- Profil-Rauheit 2D
- Profil-Welligkeit 2D
- Flächen-Rauheit 3D
- Flächen-Welligkeit 3D
- Material(trag)anteil
- Ebenheit
- Parallelität
- Stufenmessung
- Konturanalyse
- Strukturanalyse
Kennwerte 2D/3D
- ISO 4287: Pt, Ra, Rz, Rq, Rmr, Rmr, Wt, …
- ISO 13565-2: Rpk, Rk, Rvk, …
- ISO 25178-2: Sa, Sz, Sq, Sdq, Smr, Sdr, Str, …
- prEN ISO 21920-2
- ISO 12181-1: RONt
- ISO 12781-1: FLTt
Materialien
- Metalle
- Gläser
Beispiel
- Oberflächentopographie
Oberflächenmessung 3D
- Stufenmessung
Spezifikation
- Lichtquelle: Weißlicht
- Auflösung: 0.1 nm vertikal, 640 nm lateral
- Vergrößerung: bis zu 2000-fach
- Bauteilhöhe: 180 mm
- Höhenscan: 150 µm
- Max. Messfeldgröße: 152 x 132 mm
- Einzelnes Messfeld: 70 x 55 µm – 2.82 x 2.12 mm
Weißlicht-Interferometrie
Weißlichtinterferometer verwenden breitbandiges Licht im sichtbaren Bereich. Mathematisch lässt sich das abgestrahlte Bündel an Frequenzen als ein Wellenpaket mit einer mittleren Frequenz zusammenfassen, dessen Ausdehnung und Form von der spektralen Verteilung definiert wird. Das Wellenpaket wird in einem Strahlteiler in zwei gleichartige Portionen zerlegt. Ein Teil trifft im Referenzarm auf einen Spiegel und wird dort zurück reflektiert. Der andere Teil reflektiert auf der Objektoberfläche. Beide Pakete werden auf dem Rückweg wieder im Strahlteiler vereinigt. Sind die optischen Wege der beiden Teilstrahlen nahezu gleich, dann treffen sich die zuvor getrennten Wellenpakete wieder und können messbar interferieren. Durch die Möglichkeit der Zusammensetzung von Einzelmessfelder (Stitching) können auch größere Oberflächenbereiche vermessen werden.
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