Modell NewView 5032
Weißlichtinterferometer (WLI) für optische Oberflächenmessung und Rauheitsmessung
Mit dem Weißlichtinterferometer (WLI) werden optische Oberflächenmessung im Steinbeis-Transferzentrum durchgeführt und Oberflächenrauheit- und Welligkeit analyisert. Durch die optische Oberflächenmessung ist es möglich die Mikrostruktur von Oberflächen dreidimensional und somit vollständig zu erfassen. Anschließend wird diese über die Kenngrößen der entsprechenden Normen für die Oberflächenrauheit 2D/3D und für die Form charakterisiert. Wir beraten gerne hinsichtlich geeigneter Oberflächenkenngrößen zur Beschreibung von Oberflächen. Da die optischen Messung von Oberflächen berührungslos erfolgt, können Oberflächen von empfindlichen Materialien, wie Kunststoffe und Gläser, problemlos vermessen werden. Die Oberflächen von großen Bauteilen oder von optisch nicht zugänglicher Stellen (z.B. Bohrungen) werden durch ein spezielles Material abgeformt und anschließend vermessen.
Das Weißlichtinterferometer eignet sich insbesondere zur Messung von Oberflächen mit einer sehr geringen Oberflächenrauheit. Deshalb können mit einem WLI Oberflächen von Spiegeln und Gläsern vermessen werden. Als spezialisiertes Labor in Karlsruhe bieten wir optische Oberflächenmessungen als Dienstleistung an.
Analysen
- Profilrauheit 2D
- Profilwelligkeit 2D
- Flächenrauheit 3D
- Flächenwelligkeit 3D
- Material(trag)anteil
- Ebenheit
- Parallelität
- Stufenhöhe
- Konturanalyse
- Strukturanalyse
Materialien
- Metalle
- Gläser
Normen
- Rauheit und Welligkeit 2D: ISO 4287, ISO 13565
- Rauheit und Welligkeit 3D: ISO 25178
- Kenngrößen Zylinderform: ISO 12180-1
- Kenngrößen Rundheit: ISO 12181-1
- Kenngrößen Geradheit: ISO 12780-1
- Kenngrößen Ebenheit: ISO 12781-1
- Schichtdickenmessung Querschliff: ISO 2808
Beispiel
- Oberflächentopographie
Oberflächenmessung 3D
Spezifikation
- Lichtquelle: Weißlicht
- Auflösung: 0.1 nm vertikal, 640 nm lateral
- Vergrößerung: bis zu 2000-fach
- Bauteilhöhe: 180 mm
- Höhenscan: 150 µm
- Max. Messfeldgröße: 152 x 132 mm
- Einzelnes Messfeld: 70 x 55 µm – 2.82 x 2.12 mm
Weißlicht-Interferometrie
Weißlichtinterferometer verwenden breitbandiges Licht im sichtbaren Bereich. Mathematisch lässt sich das abgestrahlte Bündel an Frequenzen als ein Wellenpaket mit einer mittleren Frequenz zusammenfassen, dessen Ausdehnung und Form von der spektralen Verteilung definiert wird. Das Wellenpaket wird in einem Strahlteiler in zwei gleichartige Portionen zerlegt. Ein Teil trifft im Referenzarm auf einen Spiegel und wird dort zurück reflektiert. Der andere Teil reflektiert auf der Objektoberfläche. Beide Pakete werden auf dem Rückweg wieder im Strahlteiler vereinigt. Sind die optischen Wege der beiden Teilstrahlen nahezu gleich, dann treffen sich die zuvor getrennten Wellenpakete wieder und können messbar interferieren. Durch die Möglichkeit der Zusammensetzung von Einzelmessfelder (Stitching) können auch größere Oberflächenbereiche vermessen werden.
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