Modell Plu S neox
Konfokalmikroskop und Weißlichtinterferometer in einem Gerät für die optische Oberflächenrauheitsmessung
Die optische zwei- und dreimensionale Messung der Oberflächenrauheit und von Mikrogeometrien erfolgt mit einem hochauflösenden Kombigerät, bestehend aus Konfokalmikroskop und Weißlichtinterferometer. Durch die Kombination zweier optischer Messgeräte für Oberflächenmessungen 2D/3D in einem Kombigerät wird für die jeweilige Messaufgabe das optimale Messverfahren ermittelt, ohne dass das Bauteil umgespannt werden muss. Durch vier verschiedene LEDs als Lichtquelle für die Konfokalmikroskopie kann von allen Materialien die Oberflächenrauheit gemessen werden.
Das STZ Tribologie bietet folgende Messungen als Dienstleistung an:
- Oberflächenmessung 2D/3D
- Rauheitskenngrößen und Texturparameter 2D/3D
- 3D-Form- und Profilmessung
- Mikrostrukturen
- Oberflächenfehler, Kratzer, Risse, Löcher, Verschleiß
- Tiefenscharfe dreidimensionale Farbaufnahmen
- Defektdichtebestimmung
- Partikelzählung
Ein Konfokalmikroskop ist ein optisches Messgerät für die dreidimensionale Messung von Oberflächen woraus Oberflächenkenngrößen berechnet zur Charakterisierung bestimmt werden. Die Konfokalmikroskopie erlaubt die Aufnahme praktisch aller Materialien, unabhängig von der Transparenz oder Farbe (auch reiner Kohlenstoff als Graphit, Diamant, Ruß). Ein Konfokalmikroskop arbeitet berührungslos und wird zur Messung von empfindlichen Oberflächen und Materialien eingesetzt.
Weißlichtinterferometer sind ebenfalls optische Messgeräte für die dreidimensionale optische Rauheitsmessung und zur Bestimmung Oberflächenkenngrößen 2D/3D. Diese werden nicht nur für die Charakterisierung von moderat rauen Oberflächen verwendet, sondern auch für glatte und superglatte Oberflächen. In der Entwicklung und in der Erprobung werden die tribologischen Analysen mit dem Weißlichtinterferometer durchgeführt. Der Vorteil der Interferometrie ist die große Anwendungsbreite, wenn es um die hochpräzise, flächenhafte Oberflächenmessung geht.
Anwendungen
- Oberflächenmessung 2D/3D
- 3D-Form- und Profilmessung
Ergebnisse
- Topografie des Bauteils
- Oberflächenrauheit
- 2D- und 3D-Rauheitskenngrößen
- Konturen (Abstände, Winkel, Radien)
- Ebenheit
Beispiel
- Topografiemessung
- Profilschnitt
Spezifikation
- Lichtquelle: LED
- blau: 460 nm
- grün: 530 nm
- weiß: 550 nm
- rot: 630 nm
- Weißlichtinterferometer
- Auflösung: 0.1 nm vertikal, 200 nm lateral
- Max. Messfeldgröße: 110 x 70 mm
- Einzelmessfeld: 175 x 132 µm bis 3.51 x 2.64 mm
- Konfokalmikroskop
- Auflösung: 5 nm vertikal, 140 nm lateral
- Max. Messfeldgröße: 110 x 70 mm
- Einzelmessfeld: 117 x 88 µm bis 1.75 x 1.32 mm