Konfokales Laser Scanning-Mikroskop Olympus LEXT OLS 4100
Mit dem konfokalen Laser-Scanning-Mikroskop (CLSM), als spezielle Form eines Konfokalmikroskopes, werden optische Oberflächenmessungen zur Bestimmung von Rauheit, Welligkeit und Ebenheit durchgeführt. Dabei wird die Oberfläche berührungslos mit einem Laser präzise abgetastet, sodass auch feinste Strukturen erfasst werden. Die optische Messung einer Oberfläche erreicht eine wesentlich höhere Auflösung und Genauigkeit als die taktile Messung mit einer Tastspitze. Darüber hinaus können im Gegensatz zur taktilen Messung mit einem Tastschnittgerät auch empfindliche Materialoberflächen gemessen werden.
Wir bieten Untersuchungen mit dem konfokalen Laser-Scanning-Mikroskop als Dienstleistung an:
- 2D-Profil-Rauheit
- 2D-Profil-Welligkeit
- 3D-Flächen-Rauheit
- 3D-Flächen-Welligkeit
- Ebenheit messen
- Parallelität messen
- Schichtdickenmessung
- Folienstärken bestimmen
- Strukturanalyse
- Oberflächencharakterisierung: Optische Messgeräte werden zur präzisen dreidimensionalen Vermessung der Oberflächentopographie eingesetzt. Damit können Rauheit, Welligkeit und andere Texturen bestimmt werden.
- Schichtdickenmessung: Die Schichtdicken dünner transparenter Schichten auf Substraten können mit einem optischen Messgerät zerstörungsfrei bestimmt werden.
- Qualitätskontrolle: Optische Oberflächenmessgeräte werden in der Produktion und Qualitätssicherung eingesetzt, um sicherzustellen, dass Produkte die gewünschten Oberflächeneigenschaften und -qualitäten aufweisen.
- Schadensanalyse: Die optischen Messgeräte dienen zur Untersuchung von Verschleißerscheinungen bei Schadensfällen, um auf die zugrunde liegende Schadensursache schließen zu können.
- ISO 4287: Pt, Ra, Rz, Rz1max, Rq, Rmr, Rdc, Wt, …
- ISO 13565-2: Rpk, Rk, Rvk, …
- ISO 21920-2: Pt, Ra, Rz, Rzx, Rq, Rmr, Rdc, Rpk, Rk, Rvk, Wt, …
- ISO 25178-2: Sa, Sz, Sq, Sdq, Smr, Sdr, Str, …
- ISO 12781-1: FLTt
- Metalle
- Kunststoffe
- Gummi
- Folien
- Keramiken
- Gläser
- Mikrostruktur einer Oberfläche
- Lichtquelle: violetter Laser (405 nm)
- Auflösung: 8 nm vertikal, 120 nm lateral
- Vergrößerung: bis zu 8000-fach
- Max. Bauteilhöhe: 100 mm
- Max. Scanhöhe: 10 mm
- Max. Messfeldgröße: 100 x 100 mm
- Schichtdicken (Durchlicht: 5 – 100 µm, Stufenhöhenmessung: ab 8 nm)
Die konfokale Laser-Scanning-Mikroskopie (CLSM) ist ein optisches Verfahren zur berührungslosen dreidimensionalen Vermessung von Oberflächenstrukturen. Dabei wird ein fokussierter Laserstrahl punktweise über die Oberfläche des Messobjekts geführt. Das von der Oberfläche reflektierte Licht wird durch eine konfokale Blende geleitet, sodass überwiegend nur Licht aus der aktuell fokussierten Ebene den Detektor erreicht. Lichtanteile aus außerhalb der Fokusebene liegenden Bereichen werden dabei weitgehend ausgeblendet.
Zur Erfassung der Oberfläche wird der Laserstrahl zeilen- beziehungsweise punktweise über das Messfeld abgelenkt. Gleichzeitig wird die Fokuslage entlang der Höhenrichtung verändert, sodass für jeden Messpunkt die Position maximaler Signalintensität bestimmt werden kann. Aus den erfassten Messpunkten wird anschließend ein dreidimensionales Höhenmodell der Oberfläche berechnet.
Die konfokale Laser-Scanning-Mikroskopie ermöglicht eine hochauflösende Analyse von Oberflächenstrukturen und eignet sich für unterschiedlichste Materialien unabhängig von Farbe oder Transparenz. Durch die berührungslose Messung können auch empfindliche oder fein strukturierte Oberflächen präzise untersucht werden. Zudem lassen sich Rauheiten, Formabweichungen sowie Schichtdicken mit hoher Genauigkeit bestimmen.
Steinbeis-Transferzentrum an der Dualen Hochschule Karlsruhe
Mitglied in Deutschlands Spitzencluster microTEC