Ebenheitsmessung
Die Ebenheitsmessung ist ein Verfahren der Formmesstechnik zur genauen Bestimmung von Ebenheitsabweichungen von Bauteiloberflächen. Die Ebenheit bzw. Ebenheitsabweichung ist ein Maß für die Form einer Oberfläche. Sie gibt an, ob alle Punkte entlang dieser Oberfläche in derselben Ebene liegen. In der Auswertung von Form-Lage-Toleranzen wird die Ebenheit durch ein Parallelogramm symbolisiert. Die Toleranz für die Ebenheit stellt sicher, dass sich eine bestimmte Oberfläche innerhalb zweier imaginärer, perfekter und paralleler Ebenen befindet.
Klassischerweise wird die Ebenheit einer Oberfläche taktil mit einer 3D-Koordinatenmessmaschine gemessen. Dabei wird die Oberfläche im Einzelpunktbetrieb mit einem Messtaster taktil angetastet und daraus die Ebenheitsabweichung berechnet.
Bei höheren Genauigkeitsanforderungen an die Messung der Ebenheitsabweichung erfolgt die Vermessung der Oberfläche optisch. Dies ist sowohl mit konfokalen Mikroskopen als auch mit Weißlichtinterferometern möglich. Mit einem Weißlichtinterferometer lassen sich auch relativ große Einzelmessfelder realisieren und damit Genauigkeiten von bis zu 0,1 µm absolut über das gesamte Messfeld erreichen.
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