EDX Analyse (Energiedispersive Röntgenspektroskopie)
Die EDX-Analyse (energiedispersive Röntgenspektroskopie) dient in Verbindung mit dem Rasterelektronenmikroskop (REM) der ortsaufgelösten Bestimmung der elementaren chemischen Zusammensetzung von Werkstoffen, Oberflächen und Partikeln. Sie ermöglicht die Identifikation vorhandener Elemente sowie eine quantitative bzw. semiquantitative Bestimmung ihrer Konzentrationen.
Typische Anwendungen sind die Charakterisierung von Werkstoffen und Phasen, die Untersuchung von Verunreinigungen, Fremdpartikeln, Rückständen und Ablagerungen sowie die Analyse von Korrosionsprodukten und Beschichtungen. Mittels Punktanalysen, Linienprofilen und Elementverteilungsbildern (Mappings) können chemische Unterschiede und Elementverteilungen gezielt untersucht werden.
In der Schadensanalyse unterstützt die EDX-Analyse die Identifikation chemischer Veränderungen, Fremdstoffe oder Korrosionsprodukte und trägt somit zur Aufklärung möglicher Schadensursachen bei. Darüber hinaus kann die EDX-Analyse bei geeigneten Schichtsystemen zur Charakterisierung sehr dünner Beschichtungen und zur Abschätzung bzw. modellgestützten Bestimmung ihrer Schichtdicke eingesetzt werden.
- Materialanalyse
- Analyse Ablagerungen
- Oberflächenanalyse
- Gefügeuntersuchungen
- Beschichtungsanalyse
- Schadensanalyse
- Verschleißanalyse
- Korrosionsanalyse
- Schichtdickenmessung
Als Auftragslabor führen wir Materialanalyse und Schichtdickenmessung mittels energiedispersiver Röntgenspektroskopie (EDX) als Dienstleistung durch.
Mit der energiedispersiven Röntgenspektroskopie (EDX) können die chemischen Elemente, deren Konzentration und Verteilung bestimmt werden. Diese Analysemethode wird in einem breiten Spektrum von Anwendungen eingesetzt. Die EDX Analyse gehört zur Röntgenmikroanalyse und beruht darauf, dass jedes chemische Element eine charakteristische Röntgenstrahlung aussendet, wenn es angeregt wird. Die Anregung erfolgt durch den Primärelektronenstrahl des Rasterelektronenmikroskops. Dabei kommt es durch die Elektronen in der Atomhülle zur Aussendung einer Röntgenstrahlung, deren Spektrum für jedes Element charakteristisch ist. Man unterscheidet Spotanalysen (punktuell), Linienanalysen (line scans) und Flächenanalysen (mapping). Mit einem Mapping wird die Verteilung der chemischen Elemente über eine Fläche ermittelt, wodurch lokale Unterschiede bestimmt werden.
Mit dem Rasterelektronenmikroskop (REM) und dem Röntgenstrahldetektor (EDX) sind auch präzise Schichtdickenmessungen von dünnen Beschichtungen möglich. Bei der energiedispersiven Röntgenspektroskopie (EDX) wird die Beschichtung über die Tiefe mit verschiedenen Beschleunigungsspannungen „abgerastert“ und damit Stärken von Beschichtungen im Bereich von 5 – 200 nm bestimmt.
Die EDX-Analyse bietet mehrere wichtige Vorteile für die Materialcharakterisierung. Besonders hervorzuheben ist die ortsaufgelöste Elementanalyse, mit der sowohl die enthaltenen Elemente als auch deren räumliche Verteilung in einer Probe bestimmt werden können. Zudem ist die Methode sehr vielseitig und auf unterschiedliche Materialien wie Metalle, Polymere, Minerale sowie auch Partikel und Pulver anwendbar. Ein weiterer Vorteil liegt in der quantitativen Auswertung, da neben der Identifizierung der Elemente auch deren Konzentrationen bestimmt werden können.
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