EBSD (Electron Backscatter Diffraction)

Die Electron Backscatter Diffraction (EBSD) ist eine mikroskopische Analysemethode, mit der sich die kristallographische Struktur von Materialien untersuchen lässt. Sie wird typischerweise in Kombination mit einem Rasterelektronenmikroskop (REM) eingesetzt und liefert detaillierte Informationen über Kristallorientierungen, Korngrenzen, Phasenverteilungen und Texturen.

Bei der EBSD-Analyse trifft ein fokussierter Elektronenstrahl auf die speziell präparierte Oberfläche der Probe. Dabei entstehen charakteristische Beugungsbilder (EBSD-Muster) aus rückgestreuten Elektronen. Diese werden von einer Detektoreinheit erfasst und ausgewertet. Aus diesen Beugungsmustern lassen sich die kristallographischen Eigenschaften des untersuchten Materials lokal hochauflösend bestimmen.

EBSD ist besonders wertvoll in der Metallurgie, der Halbleiter- und Keramikforschung sowie in der Geologie. Die Methode ermöglicht ein tiefgehendes Verständnis von Gefügestrukturen und Verformungsmechanismen und unterstützt somit die Werkstoffentwicklung, Prozessoptimierung und Schadensanalyse.