Modell LEXT OLS 4100
Konfokales Laser Scanning-Mikroskop für optische Oberflächenmessung 2D/3D und Schichtdickenmessung
Ein Konfokalmikroskop ist ein hochauflösendes Mikroskop, das in der Forschung, Industrie und verschiedenen wissenschaftlichen Disziplinen eingesetzt wird. Es bietet spezielle Vorteile gegenüber konventionellen Lichtmikroskopen. Ein konfokales Laser-Scanning-Mikroskop (CLSM) ist eine spezielle Art von Konfokalmikroskop.
Hier sind einige wichtige Anwendungen und Einsatzbereiche:
- Oberflächenprofilmessung: Konfokalmikroskope werden häufig eingesetzt, um präzise dreidimensionale Oberflächenprofile von Materialien zu messen. Dies ist wichtig in Bereichen wie der Qualitätssicherung von Produkten, insbesondere wenn die Oberflächenrauhigkeit und -beschaffenheit von Bedeutung sind.
- Dicke von transparenten Schichten: In der Halbleiterindustrie und anderen Bereichen, in denen dünne transparente Schichten auf Substraten aufgebracht werden, kann ein Konfokalmikroskop verwendet werden, um die Dicke dieser Schichten genau zu messen.
- Rauheitsmessung: Konfokalmikroskop ermöglichen präzise Messungen der Oberflächenrauheit. Dies ist insbesondere in Industrien wie der Fertigung, der Elektronik und der Optik wichtig.
- 3D-Bildgebung: Konfokalmikroskope ermöglichen die Erstellung von dreidimensionalen Bildern von Proben. Durch die Einführung von Konfokalität können Schichten innerhalb einer Probe selektiv fokussiert und abgebildet werden, was zu detaillierten 3D-Darstellungen führt.
- Hochauflösende Bildgebung: Die Konfokaltechnik ermöglicht eine verbesserte laterale (xy) und axiale (z) Auflösung im Vergleich zu konventionellen Mikroskopen.
- Materialwissenschaft: In der Materialforschung werden Konfokalmikroskope zur Untersuchung von Oberflächenstrukturen, Schichtdicken, Poren und anderen Materialparametern eingesetzt.
Die Konfokalmikroskopie ist somit ein leistungsstarkes Werkzeug für die hochauflösende, detaillierte Bildgebung in verschiedenen wissenschaftlichen Bereichen und Industrien.
Analysen
- Oberflächen Rauheit 2D/3D
- Oberflächen Welligkeit 2D/3D
- Ebenheit messen
- Parallelität messen
- Schichtdickenmessung
- Folienstärken bestimmen
- Strukturanalyse Topographie
Kennwerte 2D/3D
- ISO 4287: Pt, Ra, Rz, Rz1max, Rq, Rmr, Rdc, Wt, …
- ISO 13565-2: Rpk, Rk, Rvk, …
- ISO 21920-2: Pt, Ra, Rz, Rzx, Rq, Rmr, Rdc, Rpk, Rk, Rvk, Wt, …
- ISO 25178-2: Sa, Sz, Sq, Sdq, Smr, Sdr, Str, …
- ISO 12781-1: FLTt
Materialien
- Metalle
- Kunststoffe
- Gummi
- Folien
- Keramiken
- Gläser
Beispiel
- Mikrostruktur einer Oberfläche
Spezifikation
- Lichtquelle: violetter Laser (405 nm)
- Auflösung: 8 nm vertikal, 120 nm lateral
- Vergrößerung: bis zu 8000-fach
- Max. Bauteilhöhe: 100 mm
- Max. Scanhöhe: 10 mm
- Max. Messfeldgröße: 100 x 100 mm
- Schichtdicken (Durchlicht: 5 – 100 µm, Stufenhöhenmessung: ab 8 nm)
Konfokalmikroskopie
Bei der Konfokalmikroskopie wird die Probe ohne umfangreiche Vorbehandlung unter atmosphärischen Bedingungen vermessen. Die Konfokalmikroskopie erlaubt die Messung von Oberflächen verschiedenster Materialien und unterschiedlicher Rauheiten. Aus der optischen Messung der Oberflächenrauheit werden Oberflächenstrukturen, Konturen und die Oberflächenkenngrößen bestimmt. Der Aufbau eines Konfokalmikroskops ist dem eines klassischen Mikroskops sehr ähnlich. Durch ein Linsensystem wird ein Objekt vergrößert und auf einem Detektor (Photomultiplier) abgebildet. Bei einem Konfokalmikroskop wird kurz vor dem Detektor, durch eine bündelnde Linse, ein Zwischenfokus erzeugt, in welchem sich eine sehr kleine Blende befindet. Durch die Möglichkeit der Zusammensetzung von Einzelmessfelder (Stitching) können auch größere Oberflächenbereiche vermessen werden.