Modell LEXT OLS 4100
Konfokales Laser-Scanning-Mikroskop für optische Rauheits- und Oberflächenmessung 2D/3D sowie Schichtdickenmessung
Die optische Rauheits- und Oberflächenmessung 2D/3D von rauen bis moderat rauen Oberflächenrauheiten wird mit einem Konfokalen Laser-Scanning-Mikroskop durchgeführt. Es handelt sich hierbei um ein optisches Messgerät, welches berührungslos arbeitet und sich somit gut zur Rauheitsmessung von empfindlichen Oberflächen und Materialien eignet. Mit dem Konfokalmikroskop werden auch hochauflösende Konturmessungen von Mikrogeometrien vorgenommen sowie Schichtdickenmessungen im Querschliff, als Stufenmessung oder optisch an transparenten dünnen Schichten.
Das STZ Tribologie bietet folgende Messungen als Dienstleistung an:
- Oberflächenmessung 2D/3D
- Rauheitskenngrößen und Texturparameter 2D/3D
- 3D-Form- und Profilmessung
- Mikrostrukturen
- Oberflächenfehler, Kratzer, Risse, Löcher, Verschleiß
- Tiefenscharfe dreidimensionale Farbaufnahmen
- Defektdichtebestimmung
- Partikelzählung
- Schichtdickenmessung (Querschliff, Stufenmessung, optisch)
Bei der Konfokalmikroskopie wird die Probe in der Regel ohne größere Vorbehandlung unter atmosphärischen Bedingungen vermessen. Die Konfokalmikroskopie erlaubt es die Oberflächen vieler Materialien zu messen. Aus dieser optischen Messung der Oberflächenrauheit werden Topografiestrukturen, Konturen und Rauheitswerte nach Norm bestimmt. Durch die Möglichkeit der Zusammensetzung von Einzelmessungen (Stitching) können auch größere Oberflächenbereiche vermessen werden. Der Aufbau eines Konfokalmikroskops ist dem eines klassischen Mikroskops sehr ähnlich. Durch ein Linsensystem wird ein Objekt vergrößert und auf einem Detektor (Photomultiplier) abgebildet. Bei einem Konfokalmikroskop wird kurz vor dem Detektor, durch eine bündelnde Linse, ein Zwischenfokus erzeugt, in welchem sich eine sehr kleine Blende befindet.
Anwendungen
- Oberflächenmessung 2D/3D
- Formmessungen 2D/3D
- Schichtdickenmessung
Ergebnisse
- Topografie der Oberfläche
- Oberflächenrauheit
- Rauheitskenngrößen 2D/3D
- Formkenngrößen (Ebenheit, Rundheit)
- Konturen (Abstände, Winkel, Radien)
- Schichtdicke
Normen
- ISO 1101, ISO 12181, ISO 12780
- ISO 4287, ISO 13565
- ISO 25178
Beispiel
- Topografie einer Oberfläche
- Schichtdickenmessung als Stufenmesssung
Spezifikation
- Lichtquelle: violetter Laser (405 nm)
- Auflösung: 8 nm vertikal, 120 nm lateral
- Vergrößerung: bis zu 8000-fach
- Einzelnes Messfeld: 16 x 16 µm bis 1.28 x 1.28 mm
- Messbereich: 100 x 100 x 10 mm