Modell LEXT OLS 4100
Konfokales Laser Scanning-Mikroskop für optische Oberflächenmessung 2D/3D und Schichtdickenmessung
Mit dem konfokalen Laser-Scanning-Mikroskop (CLSM), als spezielle Form eines Konfokalmikroskopes, werden hauptsächlich optische 3D-Oberflächen-Messungen für die Bestimmung von Rauheit, Welligkeit, Ebenheits- und Parallelitätsabweichungen durchgeführt. Die Oberfläche wird dabei berührungslos durch einen Lichtstrahl präzise abgetastet, so dass feinste Strukturen mit hoher Auflösung dreidimensional erfasst werden. Im Unterschied zur taktilen Messung wird die zu messende Oberfläche nicht durch eine harte Diamantspitze verändert und somit das Messergebnis beeinträchtigt.
Hier sind einige Anwendungen von Laser-Scanning-Mikroskopen:
- Oberflächentopographie: Optische Messgeräte werden eingesetzt, um präzise dreidimensionale Messungen der Oberflächentopgraphie durchzuführen.
- Rauheitsmessung: Optische Messgeräte ermöglichen präzise Messungen der Oberflächenrauheit. Dies ist insbesondere in Industrien wie der Fertigung, der Elektronik und der Optik wichtig.
- Schichtdickenmessung: In der Halbleiterindustrie und anderen Bereichen, in denen dünne transparente Schichten auf Substraten aufgebracht werden, kann ein Laser-Scanning-Mikroskop verwendet werden, um die Dicke dieser Schichten genau zu messen.
- Qualitätskontrolle: In der Produktion und Qualitätssicherung wird das optische Oberflächenmessgerät eingesetzt, um sicherzustellen, dass Produkte die gewünschten Oberflächeneigenschaften und -qualitäten erfüllen.
- Mikrostrukturen und Mikrooptik: Das optische Oberflächenmessgerät wird in der Charakterisierung von Mikrostrukturen und Mikrooptiken verwendet.
- Präzisionsmessungen: Aufgrund seiner Fähigkeit, hochpräzise Messungen durchzuführen, werden Laser-Scanning-Mikroskope auch in wissenschaftlichen Forschungseinrichtungen und Laboren eingesetzt, um genaue optische Parameter von Materialien zu untersuchen.
Wir führen optische Oberflächenmessungen mit dem konfokalen Laser-Scanning-Mikroskop als Dienstleistung durch.
Analysen
- 2D-Profil-Rauheit
- 2D-Profil-Welligkeit
- 3D-Flächen-Rauheit
- 3D-Flächen-Welligkeit
- Ebenheit messen
- Parallelität messen
- Schichtdickenmessung
- Folienstärken bestimmen
- Strukturanalys
Kennwerte 2D/3D
- ISO 4287: Pt, Ra, Rz, Rz1max, Rq, Rmr, Rdc, Wt, …
- ISO 13565-2: Rpk, Rk, Rvk, …
- ISO 21920-2: Pt, Ra, Rz, Rzx, Rq, Rmr, Rdc, Rpk, Rk, Rvk, Wt, …
- ISO 25178-2: Sa, Sz, Sq, Sdq, Smr, Sdr, Str, …
- ISO 12781-1: FLTt
Materialien
- Metalle
- Kunststoffe
- Gummi
- Folien
- Keramiken
- Gläser
Beispiel
- Mikrostruktur einer Oberfläche
Spezifikation
- Lichtquelle: violetter Laser (405 nm)
- Auflösung: 8 nm vertikal, 120 nm lateral
- Vergrößerung: bis zu 8000-fach
- Max. Bauteilhöhe: 100 mm
- Max. Scanhöhe: 10 mm
- Max. Messfeldgröße: 100 x 100 mm
- Schichtdicken (Durchlicht: 5 – 100 µm, Stufenhöhenmessung: ab 8 nm)
Konfokalmikroskopie
Bei der Konfokalmikroskopie wird die Probe ohne umfangreiche Vorbehandlung unter atmosphärischen Bedingungen vermessen. Die Konfokalmikroskopie erlaubt die Messung von Oberflächen verschiedenster Materialien und unterschiedlicher Rauheiten. Aus der optischen Messung der Oberflächenrauheit werden Oberflächenstrukturen, Konturen und die Oberflächenkenngrößen bestimmt. Der Aufbau eines Konfokalmikroskops ist dem eines klassischen Mikroskops sehr ähnlich. Durch ein Linsensystem wird ein Objekt vergrößert und auf einem Detektor (Photomultiplier) abgebildet. Bei einem Konfokalmikroskop wird kurz vor dem Detektor, durch eine bündelnde Linse, ein Zwischenfokus erzeugt, in welchem sich eine sehr kleine Blende befindet. Durch die Möglichkeit der Zusammensetzung von Einzelmessfelder (Stitching) können auch größere Oberflächenbereiche vermessen werden.