Modell LEXT OLS 4100
Konfokales Laser-Scanning-Mikroskop für optische Oberflächenmessung 2D/3D und Schichtdickenmessung
Mit dem konfokalen Laser-Scanning-Mikroskop (KLSM) werden optische Oberflächenmessungen für Rauheit, Welligkeit und Ebenheit von Bauteiloberflächen durchgeführt. Durch die optische Oberflächenmessung ist es möglich die Mikrostruktur einer Oberfläche mit hoher Auflösung dreidimensional und somit vollständig zu erfassen. Da die optische Messung berührungslos ist, werden empfindliche Oberflächenstrukturen nicht beschädigt. Aus den Messungen werden die Oberflächenparameter der ISO Normen für Rauheit, Welligkeit, Ebenheits- und Parallelitätsabweichung berechnet. Die Oberflächen von großen Bauteilen und von optisch nicht zugänglicher Stellen werden durch ein spezielles Material negativ abgeformt und anschließend optisch vermessen. Das Konfokalmikroskop wird zur Oberflächenmessung rauer bis moderat rauer Oberflächen eingesetzt. Mit dem Konfokalmikroskop können auch optische Schichtdickenmessungen von lichtdurchlässigen Beschichtungen durchgeführt werden oder Schichtdicken über eine Stufenhöhenmessung bestimmt werden.
Wir führen auch spezifische Charakterisierungen von Oberflächenstrukturen durch, um z.B. Riefen, Texturen, Schlagstellen, Partikel uvm. zu beschreiben. Diese Dinge sind nur eingeschränkt durch die Kenngrößen in den Normen beschreibbar.
Wir bieten als Steinbeis-Transferzentrum optische Oberflächenmessungen als Dienstleistung an und bestimmen die Kennwerte 2D/3D nach den entsprechenden Normen.
Analysen
- Rauheit 2D/3D
- Welligkeit 2D/3D
- Ebenheit und Parallelität
- Schichtdicke
- Strukturanalyse
Kennwerte 2D/3D
- ISO 4287: Pt, Ra, Rz, Rq, Rmr, Rdc, Wt, …
- ISO 13565-2: Rpk, Rk, Rvk, …
- ISO 25178-2: Sa, Sz, Sq, Sdq, Smr, Sdr, Str, …
- ISO 21920-2
- ISO 12181-1: RONt
- ISO 12781-1: FLTt
Materialien
- Metalle
- Kunststoffe
- Gummi
- Folien
- Keramiken
- Gläser
Beispiel
- Mikrostruktur einer Oberfläche
Spezifikation
- Lichtquelle: violetter Laser (405 nm)
- Auflösung: 8 nm vertikal, 120 nm lateral
- Vergrößerung: bis zu 8000-fach
- Max. Bauteilhöhe: 100 mm
- Max. Scanhöhe: 10 mm
- Max. Messfeldgröße: 100 x 100 mm
- Schichtdicken (Durchlicht: 5-150 µm, Stufenhöhenmessung: ab 8 nm)
Konfokalmikroskopie
Bei der Konfokalmikroskopie wird die Probe ohne umfangreiche Vorbehandlung unter atmosphärischen Bedingungen vermessen. Die Konfokalmikroskopie erlaubt die Messung von Oberflächen verschiedenster Materialien und unterschiedlicher Rauheiten. Aus der optischen Messung der Oberflächenrauheit werden Oberflächenstrukturen, Konturen und die Oberflächenkenngrößen bestimmt. Der Aufbau eines Konfokalmikroskops ist dem eines klassischen Mikroskops sehr ähnlich. Durch ein Linsensystem wird ein Objekt vergrößert und auf einem Detektor (Photomultiplier) abgebildet. Bei einem Konfokalmikroskop wird kurz vor dem Detektor, durch eine bündelnde Linse, ein Zwischenfokus erzeugt, in welchem sich eine sehr kleine Blende befindet. Durch die Möglichkeit der Zusammensetzung von Einzelmessfelder (Stitching) können auch größere Oberflächenbereiche vermessen werden.