Modell LEXT OLS 4100
Konfokales Laserscanningmikroskop für optische Oberflächenmessung 2D/3D und Schichtdickenmessung
Mit dem konfokalen Laser-Scanning-Mikroskop werden optische Oberflächenmessungen 3D im Steinbeis-Transferzentrum für Oberflächenrauheit und -Welligkeit durchgeführt. Durch die optische Oberflächenmessung ist es möglich die Mikrostruktur der Oberfläche dreidimensional zu erfassen. Anschließend wird diese über geeignete Kenngrößen für die Oberflächenrauheit und für Formabweichungen charakterisiert werden. Wir bieten optische Oberflächenmessungen als Dienstleistung an und beraten gerne hinsichtlich geeigneter Oberflächenparameter zur Beschreibung von Oberflächen. Da die optischen Messung von Oberflächen berührungslos erfolgt, können damit die Oberflächen von empfindlichen Materialien vermessen werden. Oberflächen von großen Bauteilen oder von optisch nicht zugänglicher Stellen (z.B. Bohrungen) werden durch ein spezielles Material abgeformt und anschließend vermessen.
Ein Konfokalmikroskop wird zur Oberflächenmessung rauer bis moderat rauer Oberflächen eingesetzt. Mit diesem Laser Konfokalmikroskop können auch Schichtdickenmessungen durchgeführt, entweder am Querschliff oder im Durchlichtverfahren für transparente Schichten, z.B. Lacke und Folien.
Als spezialisiertes Labor in Karlsruhe bieten wir die Analysen als Dienstleistung an.
Analysen
- Profilrauheit 2D
- Profilwelligkeit 2D
- Flächenrauheit 3D
- Flächenwelligkeit 3D
- Ebenheit
- Parallelität
- Konturanalyse
- Strukturanalyse
Materialien
- Metalle
- Kunststoffe
- Gummi
- Keramiken
- Gläser
Normen
- Profilrauheit 2D: ISO 4287, ISO 13565
- Flächenrauheit 3D: ISO 25178
- Form und Lage: ISO 1101, ISO 12181, ISO 12780
- Schichtdickenmessung Querschliff: ISO 2808
Beispiel
- Mikrostruktur einer Oberfläche
Spezifikation
- Lichtquelle: violetter Laser (405 nm)
- Auflösung: 8 nm vertikal, 120 nm lateral
- Vergrößerung: bis zu 8000-fach
- Max. Bauteilhöhe: 100 mm
- Max. Scanhöhe: 10 mm
- Max. Messfeldgröße: 100 x 100 mm
- Einzelnes Messfeld: 16 x 16 µm bis 1.28 x 1.28 mm
- Schichtdicken im Querschliff: ab 4 µm
- Schichtdicken im Durchlicht: 1 – 150 µm
Konfokalmikroskopie
Bei der Konfokalmikroskopie wird die Probe ohne umfangreiche Vorbehandlung unter atmosphärischen Bedingungen vermessen. Die Konfokalmikroskopie erlaubt die Messung von Oberflächen verschiedenster Materialien und unterschiedlicher Rauheiten. Aus der optischen Messung der Oberflächenrauheit werden Oberflächenstrukturen, Konturen und die Oberflächenkenngrößen bestimmt. Der Aufbau eines Konfokalmikroskops ist dem eines klassischen Mikroskops sehr ähnlich. Durch ein Linsensystem wird ein Objekt vergrößert und auf einem Detektor (Photomultiplier) abgebildet. Bei einem Konfokalmikroskop wird kurz vor dem Detektor, durch eine bündelnde Linse, ein Zwischenfokus erzeugt, in welchem sich eine sehr kleine Blende befindet. Durch die Möglichkeit der Zusammensetzung von Einzelmessfelder (Stitching) können auch größere Oberflächenbereiche vermessen werden.
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